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J-GLOBAL ID：200903055427263252

半導体集積回路の検査方法

Inventor： 井出 裕二 ,  松本 安佐子
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003184267
Publication number (International publication number)：2005017170
Application date： Jun. 27, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：

【課題】所定の信号を入力し被測定回路からの出力信号をサンプリングしたデータに対し離散フーリエ変換を用いる半導体集積回路の検査方法において、入力信号周波数、サンプリング周波数、離散フーリエ変換実施データ数のパラメータ設定が妥当でなかった場合、本来は良品である被測定回路をリーケージ誤差のために不良品と誤判定してしまう場合がある。【解決手段】サンプリング周波数、サンプリング周波数、離散フーリエ変換実施データ数のパラメータ設定を所定のアルゴリズムで変化させて、サンプリングおよび離散フーリエ変換を繰り返し実行し、リーケージ誤差が所定のレベル以下となるサンプリング周波数、サンプリング周波数、離散フーリエ変換実施データ数の値を求め、その値を用いて半導体集積回路の検査を行う。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

被測定回路に所定の信号を入力し前記被測定回路からの出力信号をサンプリングしたデータに対し離散フーリエ変換を用いる半導体集積回路の検査方法において、入力信号周波数、サンプリング周波数および離散フーリエ変換実施データ数のパラメータの1つ以上を所定のアルゴリズムで変更してサンプリングしたデータを離散フーリエ変換することを繰り返し実行し、1つ以上の離散フーリエ変換結果の中から所定の離散フーリエ変換結果判定基準を満たす離散フーリエ変換結果を選出し、前記選出した離散フーリエ変換結果を用いて前記被測定回路の良否を判定することを特徴とする半導体集積回路の検査方法。

IPC (2)：

G01R31/316 ,  G01R31/28

FI (2)：

G01R31/28 C ,  G01R31/28 H

F-Term (4)：

2G132AA11 ,  2G132AE14 ,  2G132AE30 ,  2G132AL09