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J-GLOBAL ID:200903055435788216
クリーンブースユニット及びそれを備えたクリーンルーム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993089192
Publication number (International publication number):1994272921
Application date: Mar. 23, 1993
Publication date: Sep. 27, 1994
Summary:
【要約】【目的】 低コストで設備の負担をそれほど要せず、しかも騒音を低レベルで維持しつつ、高い清浄性を有した、クリーンブースユニット及びそれを備えたクリーンルームを提供すること。【構成】 内部に配設されたファンにより空気を取り入れると共に、この空気を除塵するフィルタを介して、清浄な空気を送給するクリーンブースユニットである。空気を取り入れる吸入口及び空気流路を規定するダクトと、このダクトに連設し、かつ前記フィルタが配設された、清浄な空気を送出する送出チャンバーとを具備する。前記ファンは前記ダクト内に配設され、前記送出チャンバーには、送出される空気の騒音を抑制するための吸音部材が内装される。またクリーンルームは、前記クリーンブースユニットが、組立ラインに沿って配置されると共に、それぞれのクリーンブースユニットは、送給された空気が次のクリーンブースユニットの吸気口に対応するように、所定の間隔をもって配置されている。
Claim (excerpt):
内部に配設されたファンにより、空気を取り入れると共に、この空気を除塵するフィルタを介して、清浄な空気を送給するクリーンブースユニットであって、空気を取り入れる吸入口及び空気流路を規定するダクトと、このダクトに連設し、かつ前記フィルタが配設された、清浄な空気を送出する送出チャンバーとを具備し、前記ファンは前記ダクト内に配設され、前記送出チャンバーには、送出される空気の騒音を抑制するための吸音部材が内装された、ことを特徴とするクリーンブースユニット。
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