半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001206229
Publication number (International publication number)：2003023072
Application date： Jul. 06, 2001
Publication date： Jan. 24, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】銅層と多孔質低誘電率絶縁膜(多孔質LOW-K膜)からなる半導体装置配線の形成工程における信頼性及び歩留まりを向上させ、多孔質LOW-K膜の吸湿を回避し、この膜上のTEOS膜(SiO2膜)とストッパ膜(SiN膜)との間での剥がれ発生も回避できる半導体装置の製造方法と製造装置を提供する。【解決手段】試料(ウエハ)を大気に曝すことなく減圧処理室内で一貫してドライ処理して、多孔質LOW-K膜5の吸湿を避けると共に、工程20でのCMP処理の後に純水洗浄を含む薬液洗浄工程(工程21)を設け、これによりTEOS膜6中に残留したフッ素を洗浄除去して、残留フッ素により次の第2層目配線の形成工程でマスク材層(TEOS膜)6上に新たに堆積されるストッパ膜4の接着性低下を回避した。

Claim (excerpt)：

試料上に第1の絶縁材料の層を形成する第1の工程と、上記第1の絶縁材料の層上に誘電率が2.5未満の第2の絶縁材料の層を形成する第2の工程と、上記第2の絶縁材料の層をプラズマエッチング法によってパターニング加工する第3の工程と、上記第2の絶縁材料の層上にスパッタリング法によって金属膜を堆積させる第4の工程と、上記金属膜上に銅層を形成する第5の工程と、上記銅層の不必要な部分をケミカル・メカニカル・ポリッシング法によって除去する第6の工程とを少なくとも有してなる半導体装置の製造方法において、上記第3の工程から上記第4の工程までの間の全工程をドライ処理条件下で行ない、かつ、上記第6の工程の後に、上記試料を純水によって洗浄する純水洗浄工程を設けてなることを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (5)：

H01L 21/768 , H01L 21/28 , H01L 21/28 301 , H01L 21/3065 , H01L 21/3205

FI (6)：

H01L 21/28 L , H01L 21/28 301 , H01L 21/90 A , H01L 21/90 P , H01L 21/88 M , H01L 21/302 N

F-Term (85)：

4M104BB04 , 4M104BB17 , 4M104CC01 , 4M104DD08 , 4M104DD15 , 4M104DD16 , 4M104DD17 , 4M104DD20 , 4M104DD22 , 4M104DD23 , 4M104DD28 , 4M104DD37 , 4M104DD52 , 4M104DD53 , 4M104DD75 , 4M104EE08 , 4M104EE12 , 4M104EE14 , 4M104EE17 , 4M104EE18 , 4M104FF13 , 4M104FF17 , 4M104FF18 , 4M104FF22 , 4M104HH20 , 5F004AA09 , 5F004AA14 , 5F004BA08 , 5F004BD04 , 5F004DA00 , 5F004DA16 , 5F004DA17 , 5F004DA23 , 5F004DA24 , 5F004DA26 , 5F004DB23 , 5F004DB26 , 5F004FA08 , 5F033HH11 , 5F033HH21 , 5F033HH32 , 5F033JJ01 , 5F033JJ11 , 5F033JJ21 , 5F033JJ32 , 5F033KK11 , 5F033KK21 , 5F033KK32 , 5F033MM01 , 5F033MM02 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033PP33 , 5F033QQ09 , 5F033QQ12 , 5F033QQ16 , 5F033QQ25 , 5F033QQ28 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ89 , 5F033QQ94 , 5F033QQ95 , 5F033QQ98 , 5F033RR01 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR21 , 5F033RR29 , 5F033SS11 , 5F033SS21 , 5F033TT04 , 5F033WW00 , 5F033WW05 , 5F033WW07 , 5F033WW08 , 5F033WW09 , 5F033WW10 , 5F033XX12 , 5F033XX24

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