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J-GLOBAL ID：200903055469819340

面発光レーザ及びその製造方法

Inventor： 舘野 功太 ,  竹ノ内 弘和 ,  大磯 義孝 ,  若月 温 ,  小濱 剛孝 ,  黒川 隆志
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 吉田 精孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995173801
Publication number (International publication number)：1997027650
Application date： Jul. 10, 1995
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】【目的】エッチングプロセスを行うことなく平坦な表面を有した屈折率導波型の面発光レーザ及びその製造方法を提供する。【構成】面発光レーザの作製における、結晶成長の後、素子周辺に加速されたイオンを注入し成長層深く欠陥5を形成し、その後欠陥5を通しH2O、NH3等のO又はNを含む分子を導入し成長層深く酸化あるいは窒化する。

Claim (excerpt)：

成長層に形成された欠陥と、該欠陥を通しH2O、NH3等のO又はNを含む分子を導入して成長層に形成された酸化部又は窒化部とを有する、ことを特徴とする面発光レーザ。