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J-GLOBAL ID：200903055484575732

液体噴射記録ヘッド及びその製造方法、及び液体噴射記録ヘッドの駆動回路及び駆動方法

Inventor： 長谷川 和正
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997239299
Publication number (International publication number)：1999078003
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Mar. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 百ノズル以上の液体噴射記録ヘッドをコンパクトな構造で実現すること、及び圧電素子の駆動電圧を上げ、駆動電圧波形の立ち上がり時間を短縮すること。【解決手段】 ヘッド基板上の上電極と薄膜トランジスタを用いた駆動回路の出力端子を向かい合わせに接続する構成にした。また、前記駆動回路のアナログスイッチをPチャネル型薄膜トランジスタとし、圧電素子駆動開始のタイミングを前記アナログスイッチの導通開始のタイミングより遅らせる。

Claim (excerpt)：

ノズル、噴射すべき液体を保持するための液室、前記液室上に形成された振動板、前記振動板を貫通する液体供給孔、前記振動板上に形成された下電極、圧電膜、上電極より成る圧電素子を具備し、各々が複数個配列されて成り、前記圧電素子を絶縁基板上に設けた薄膜トランジスタを用いた駆動回路で駆動し、前記振動板をたわませ前記液室の体積を変化させることにより、該液室内に供給された液体を前記ノズルより外部に噴射させる液体噴射記録ヘッドにおいて、前記ノズル、液室、振動板、液体供給孔及び圧電素子が形成されて成るヘッド基板上の前記上電極と前記絶縁基板上の薄膜トランジスタを用いた駆動回路の出力端子を向かい合わせに接続し、前記絶縁基板における薄膜トランジスタのない面に実装基板を設け、前記ヘッド基板及び前記絶縁基板端面及び前記実装基板により囲まれた空間を封止し、前記液室に供給する液体を貯蔵する液体貯蔵室を形成したことを特徴とする、液体噴射記録ヘッド。

IPC (4)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 K