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J-GLOBAL ID：200903055501726030

超薄膜積層部材

Inventor： 瀬戸山 誠 ,  田中 素之 ,  中山 明 ,  吉岡 剛 ,  橋本 泰久 ,  山縣 一夫 ,  小林 晄徳
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993253384
Publication number (International publication number)：1995003432
Application date： Oct. 08, 1993
Publication date： Jan. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】 切削工具や耐摩工具の耐摩耗性を十分に向上させ、また、電気、電子、摺動、機械部品の耐摩耗膜、保護膜として優れた特性を有する被覆構造を提供する。【構成】 周期律表IVa、Va、VIa族元素、Alから選択される1種以上の元素の立方晶型の結晶構造を持つ1種以上の主に金属結合性の窒化物もしくは炭窒化物と、常温、常圧、平衡状態において立方晶型以外の結晶構造を持つ主に共有結合性の化合物を繰り返して積層する構造を有し、全体として立方晶型のX線回折パターンを持ち、それぞれの化合物の層厚を0.2〜20nmとした超薄膜積層部材を、全体の膜厚を0.5μm〜10μmとした切削工具や耐摩工具の硬質基材の被膜、あるいは全体の膜厚を5nm〜10μmとした電気、電子、摺動、機械部品の耐摩耗膜、保護膜として用いる。

Claim (excerpt)：

周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Bから選択される1種以上の元素の立方晶型の結晶構造を持つ主に金属結合性の1種以上の窒化物もしくは炭窒化物と、常温、常圧、平衡状態において立方晶型以外の結晶構造を持つ主に共有結合性の1種以上の化合物を繰り返して積層する構造を有し、全体として立方晶型のX線回折パターンを持ち、それぞれの化合物の層厚を0.2〜20nmとした超薄膜積層部材。

IPC (3)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28