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J-GLOBAL ID：200903055503641903

ウェハローダ及び露光装置

Inventor： 鈴木 素子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003194910
Publication number (International publication number)：2005032906
Application date： Jul. 10, 2003
Publication date： Feb. 03, 2005
Summary：

【課題】ウェハを露光装置に搬送する際の搬送時間を短縮したウェハローダ、及び、そのようなウェハローダを備えた露光装置を提供する。【解決手段】プリアライメント室10には、ヒータ13と温度センサ15が備えられており、同室は大気温度よりも2〜3°C高い温度に昇温されている。プリアライメント室10内でのウェハのプリアライメント中に、ウェハWは大気温度よりも高い温度に昇温される。これにより、ロードロック室27を真空に引く際に、気体の断熱膨張によりウェハWの温度が低下しても元の温度程度となり、ウェハWの変形が起こらない。また、ウェハWのプリアライメント時間内にウェハを昇温するため、ウェハを昇温する時間を別に設ける必要がない。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

真空下でパターンを形成する露光装置に感応基板(ウェハ)を供給するウェハローダであって、 前記感応基板を大気雰囲気下から前記露光装置内まで搬送する経路の雰囲気を昇温する手段を備えることを特徴とするウェハローダ。

IPC (3)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/02

FI (3)：

H01L21/30 541L ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/02 Z

F-Term (1)：

5F056EA13