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J-GLOBAL ID：200903055504307667

洗浄方法および洗浄装置

Inventor： 滝本 肇 ,  柳沢 剛
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994084158
Publication number (International publication number)：1995265816
Application date： Mar. 30, 1994
Publication date： Oct. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 被洗浄物の最良な洗浄品質を得る。【構成】 被洗浄物11を、水系洗浄剤2,3により脱脂するかまたは親水性溶剤を主成分とする準水系洗浄剤により脱脂する(第1工程)。次に、水または純水4で洗浄・リンスする(第2工程)。その後、イソプロピルアルコール5で脱水する(第3工程)。しかる後、イソプロピルアルコールをシロキサンで置換する(第4工程)。最終的に、温風乾燥機20により150°C以下の温風で乾燥する(第5工程)。

Claim (excerpt)：

水系洗浄剤により脱脂するかまたは親水性溶剤を主成分とする準水系洗浄剤により脱脂する第1工程と、水または純水で洗浄・リンスする第2工程と、イソプロピルアルコールで脱水する第3工程と、イソプロピルアルコールをシロキサンで置換する第4工程と、150°C以下の温風で乾燥する第5工程とからなる洗浄方法。

IPC (4)：

B08B 3/08 ,  B01D 12/00 ,  C23G 5/032 ,  C23G 5/04