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J-GLOBAL ID：200903055530731930

位置合せ方法及びその装置

Inventor： 古賀 啓介 ,  伊藤 徹
Applicant, Patent owner： 株式会社ソルテック
Agent (1)： 吉原 省三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036959
Publication number (International publication number)：1994042918
Application date： Jan. 29, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 単色レーザ光を回折格子に照射せしめて2物体の位置検出を行ない、両者の位置合せを行なう方式にあって、位置検出信号が回折格子の段差等のマーク形状やレジスト膜厚等のプロセス条件の影響に左右されず、常に良好な状態で得ることができ、非常に安定で且つ高精度な位置合せを行なえるようにするものである。【構成】 光ヘテロダイン位置検出方式において、波長の異なる複数の単色光を同一光軸上で用い、位置ずれ信号を独立して検出すると共に、検出信号出力をモニターし、最良の信号強度又はS/N比の信号のみを用いてマスクとウェハの位置合せを行なう。

Claim (excerpt)：

第1の回折格子を設けた第1の物体と第2の回折格子を設けた第2の物体とを一定の間隔を隔てて対向配置させ、これらの回折格子に単色光を入射させて両回折格子から生じる回折光を用いて両物体の相対位置を検出し、これらの位置合せを行なう位置合せ方法において、所望の波長を有する2以上の単色光を同一光路軸上に合成し、各波長毎に独立して両物体の相対位置を検出し、そのうちの1又は2以上の検出信号に基づいて位置合せを行なうことを特徴とする位置合せ方法。

IPC (5)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/38 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68