Pat

J-GLOBAL ID：200903055533119942

静電チャック装置およびその作製方法

Inventor： 松永 忠生 ,  松下 貴哉 ,  服部 圭
Applicant, Patent owner： 株式会社巴川製紙所 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 渡部 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994311335
Publication number (International publication number)：1996148549
Application date： Nov. 22, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 熱伝導性を改善させると同時に、吸着面積の増大および吸着力の向上、さらにはウエハ載置面の凹凸をなくした静電チャック装置を提供する。【構成】 静電チャック装置は、金属基盤1上に接着剤層2、金属の蒸着膜またはメッキ膜からなる電極層3、および被吸着物を設置する面を有する電気絶縁層4を順次積層してなることを特徴とする。この静電チャック装置は、耐熱性フィルムの一面に、金属の蒸着膜またはメッキ膜からなる電極層を形成する工程と、電極層の表面にフォトレジスト層を設け、パターン露光を行い、現像し、エッチング処理を行う工程と、エッチング処理された電極層の表面に、半硬化状の接着剤層を設ける工程と、形成された積層体シートを金属基盤の形状に合わせて打ち抜き加工する工程と、金属基盤と積層体シートとを前記接着剤層を介して貼り合わせ、硬化する工程とよりなることにより作製される。

Claim (excerpt)：

金属基盤上に接着剤層、金属の蒸着膜またはメッキ膜からなる電極層、および被吸着物を設置する面を有する電気絶縁層を順次積層してなることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電チャック装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-180335   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• 特開平2-304946