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J-GLOBAL ID：200903055537869822

柔軟なナノインプリントスタンプ

Inventor： ニールセン、 テオドル ,  クリステンセン、 アンダース ,  ハンセン、 オレ
Applicant, Patent owner： ニル テクノロジー エイピーエス
Agent (3)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  原 裕子
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007530583
Publication number (International publication number)：2008512274
Application date： Sep. 07, 2005
Publication date： Apr. 24, 2008
Summary：

本発明は、ナノメートルサイズからミリメートルサイズの構造をインプリントするナノインプリントスタンプに関し、そのスタンプ(1)は、基部と第1および第2のインプリント部分(2、3)とを有しており、第1および第2のインプリント部分は、受け基板内にインプリントするためのリソグラフィパターン(7)を有している。第1の態様において、第1および第2のインプリント部分(2、3)は、インプリントスタンプのインプリント方向に対してほぼ平行な方向に、独立して変位可能である。第2の態様において、第1および第2のインプリント部分(2、3)は、インプリントスタンプのインプリント方向に対してほぼ平行な方向に、機械的に弱く結合されている。このスタンプは、スタンプの曲げをインプリント部分(2、3)の間の基部(5)に局所化することによって、リソグラフィパターン(7)でインプリントされる基板内またはその基板上の不完全部およびスタンプ内またはスタンプ上の不完全部、ならびにそのような不完全部の任意の組み合わせによる影響を制限する。

Claim (excerpt)：

基部と第1および第2のインプリント部分とを備えるナノインプリントスタンプであって、前記第1および前記第2のインプリント部分が、前記インプリントスタンプのインプリント方向に対してほぼ平行な方向に、独立して変位可能である、ナノインプリントスタンプ。

IPC (3)：

B29C 59/02 ,  B82B 1/00 ,  H01L 21/027

FI (3)：

B29C59/02 Z ,  B82B1/00 ,  H01L21/30 502D

F-Term (12)：

4F209AA21 ,  4F209AD08 ,  4F209AJ06 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046BA10