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J-GLOBAL ID：200903055545116965

電磁誘導加熱炉

Inventor： 小田 開行 ,  谷崎 茂樹
Applicant, Patent owner： 株式会社トクヤマ
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994207069
Publication number (International publication number)：1996075371
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】 内部に充填した被加熱体を汚染することなく加熱するための加熱炉【構成】 加熱炉をシリコンブロックで作成し、シリコンブロックだけを直接高周波誘導加熱することにより、加熱炉内にあるシリコン以外の物質の加熱が避けられる。これにより、シリコン以外の物質からの不純物放出が抑制され、充填粒子を汚染することなく加熱することができる。

Claim (excerpt)：

電磁誘導により加熱されるシリコンブロックおよび該シリコンブロックの外側に位置する電磁誘導加熱コイルを有することを特徴とする、加熱された該シリコンブロックにより被加熱体を加熱するための加熱炉。

IPC (4)：

F27B 17/00 ,  C23C 16/44 ,  F27D 11/06 ,  H01L 21/31