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J-GLOBAL ID：200903055549871458

研磨用組成物及び研磨方法

Inventor： 吉井 茂晴 ,  小林 亮 ,  清水 博昭
Applicant, Patent owner： 電気化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998083702
Publication number (International publication number)：1999228939
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Aug. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 研磨速度が大で、研磨品質も良く、研磨材料の分散安定性に優れた研磨用組成物を提供する。【解決手段】 研磨材に特定の重合体、すなわち側鎖にカルボキシル基とポリアルキレンオキサイド構造を有するポリカルボン酸系重合体を使用すると、研磨材の分散安定性を向上させ、研磨量が大きくて研磨作業の効率が良く、また表面欠陥が生じ難く、形状精度にも優れており、各種の精密研磨に適した研磨用組成物を得ることができる。

Claim (excerpt)：

研磨材及び側鎖にカルボキシル基とポリアルキレンオキサイド構造を有するポリカルボン酸系重合体を含有する研磨用組成物。

IPC (2)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (2)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 K