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J-GLOBAL ID：200903055552248192

集光グレーティングカプラ型光偏向素子

Inventor： 関口 利貞 ,  須崎 慎三
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ
Agent (1)： 志賀 正武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995061423
Publication number (International publication number)：1996262503
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 システムの小型化が図れるとともに、受光素子における光強度を充分に確保し得る集光グレーティングカプラ型光偏向素子を提供する。【構成】 半導体基板12と、MQW層13と、回折格子14と、クラッド層15と、上部電極層16、下部電極層17を有してなる光偏向素子11において、回折格子14は、断面鋸歯状の輪帯19、19、...が複数、同心円状に形成されてなるグレーティング輪帯群20を直径方向に切り取った平面形状とされ、各輪帯19間の間隔は、素子の中央部から外周部に向かって小さくなっている。

Claim (excerpt)：

半導体基板と、導波路層と、この導波路層に入射された光を回折させる回折格子と、クラッド層と、前記導波路層に対して電圧印加または電流注入を行なうための上部電極層、下部電極層を有してなり、素子上方の外部空間に出射する回折光を偏向する光偏向素子において、前記回折格子は、素子の中央側の辺に比べて素子の外側の辺の傾斜が小さい断面鋸歯状の輪帯が複数、同心円状に形成されてなるグレーティング輪帯群を任意の幅をもって直径方向に切り取った平面形状とされていることを特徴とする集光グレーティングカプラ型光偏向素子。

IPC (3)：

G02F 1/295 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/122

FI (3)：

G02F 1/295 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/12 A