Pat
J-GLOBAL ID：200903055568866155
カンチレバー及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡並びに試料観察方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997102621
Publication number (International publication number)：1998282125
Application date： Apr. 04, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 観察すべき試料に制約を与えずに、ジャンプインの発生を防止しつつ、探針と試料表面との間の距離に応じた探針と試料表面との間の相互作用力を直接に精度良く得る。【解決手段】 カンチレバー1は、コイル層が形成されたレバー部1bを備える。コイル5に電流供給部6から所定電流が流されて、探針1aの付近に外部磁場が発生される。撓み制御部11は、信号処理回路10からのレバー部1bの撓み量を示す撓み検出信号に基づいて、レバー部1bの撓み量がゼロとなるように、レバー部1bのコイル層に制御信号を与える。スキャナ制御部7が駆動信号をチューブ型スキャナ4に与え、徐々に試料3をカンチレバー1の探針1aに近づけた後に探針1aから遠ざけていく。このプロセス中、データ作成部12は、スキャナ制御部7からスキャナ制御部5に与えられる駆動信号と、撓み制御部11から前記コイル層に与えられる制御信号とを、互いに関連づけて順次取り込む。
Claim (excerpt)：
探針を先端側に有するレバー部と該レバー部を支持する支持体とを備えた走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記レバー部にコイル層が形成されたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
