駆動制御装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992284906
Publication number (International publication number)：1994120106
Application date： Oct. 01, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】駆動制御装置の駆動精度を向上させる。【構成】それぞれ同じ制御対象3を駆動制御する第1および第2の制御ループと、前記第1および第2の制御ループ全体を統括制御する統括制御手段1とを具備する駆動制御装置において、前記第1の制御ループL1 と第2の制御ループL2 との間の相対的な制御誤差を補償する相対誤差補償手段2を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

それぞれ同じ制御対象を駆動制御する第1および第2の制御ループと、前記第1および第2の制御ループ全体を統括制御する統括制御手段とを具備する駆動制御装置において、前記第1の制御ループと第2の制御ループとの間の相対的な制御誤差を補償する相対誤差補償手段を設けたことを特徴とする駆動制御装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G05D 3/12 305

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平3-028909
特開昭48-016082
特開平2-274480

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