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J-GLOBAL ID：200903055578654350

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 村田 誠 ,  小林 英一 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992316683
Publication number (International publication number)：1994161111
Application date： Nov. 26, 1992
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高感度で、優れたパターン形状を与えることができ、しかも解像性に優れるレジスト材料として好適に用いることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 4-t-アルコキシカルボニルメチルスチレン重合体、4-ビニル安息香酸t-アルキルとイソプロペニルフェノールとの共重合体などの重合体と感放射線性酸形成剤からなる。

Claim (excerpt)：

下記式(1)で示される繰り返し単位を有する重合体(A)と感放射線性酸形成剤を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027