Pat

J-GLOBAL ID：200903055648868060

照明装置

Inventor： 斉藤 晋 ,  鈴木 等 ,  芳野 寿和 ,  桑原 理 ,  西坂 武士
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン ,  株式会社東芝
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991079678
Publication number (International publication number)：1994124875
Application date： Apr. 12, 1991
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 照明の均一性により優れた照明装置を提供することである。【構成】 露光面を照明する照明光学系において、該照明光学系の中の少なくとも1ヵ所に前記露光面と共役な位置を設け、該共役位置の近傍に、露光面の光量分布と逆の特性をもつ補正フィルタを設けている。

Claim (excerpt)：

露光面を照明する照明光学系において、該照明光学系の中の少なくとも1ヵ所に前記露光面と共役な位置を設け、該共役位置の近傍に、露光面の光量分布と逆の特性をもつ補正フィルタを設けたことを特徴とする照明装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/52 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521