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J-GLOBAL ID：200903055649557246
減衰全反射型薄膜評価装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993074627
Publication number (International publication number)：1994288902
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ATR評価を行うための例えばプリズム底面での測定用光ビームの照射位置が、その測定用光ビームの角度掃引によってずれが生じることを実質的に回避できるようにする。【構成】 被評価薄膜を有する試料62を載置する載置台61を構成するゴニオメータの回転ステージ60上に、試料62が載置され回転ステージ60の面に沿って被評価薄膜の法線方向に移動可能な移動ステージ75を設け、移動ステージ75上の試料62に対する入射測定用光ビーム14の光路上にビームシフタ68を配置し、このビームシフタ68によって測定用光ビーム14の光軸がシフトさせる。
Claim (excerpt)：
被評価薄膜を有する試料を載置する載置台を構成するゴニオメータの回転ステージ上に、上記試料が載置され、上記回転ステージ面に沿って上記被評価薄膜面の法線方向に移動可能な移動ステージが設けられ、該移動ステージ上の上記試料に対する入射測定用光ビームの光路上にビームシフタが配置され、該ビームシフタによって上記測定用光ビームの光軸がシフトされるようにしたことを特徴とする減衰全反射型薄膜評価装置。
IPC (2)：
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