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J-GLOBAL ID：200903055657089405

エネルギー感受性材料及びそれらの使用方法

Inventor： アジェイ マドハヴ ジョシ ,  ティモスィ ウィリアム ウェイドマン
Applicant, Patent owner： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
Agent (1)： 岡部 正夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995036387
Publication number (International publication number)：1995261398
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明エネルギー感受性材料及びそれらの使用方法を提供する。【構成】 一連のシリコン含有材料は、放射に誘導されたガラス化合物への変換により、パターン形成用の紫外又は遠紫外に、優れた感度を示す。材料は気相から堆積させ、電子及び光デバイスの作製におけるレジストのような用途に対し、優れた特性を示す。

Claim (excerpt)：

基板上に放射感受性材料の層を形成する工程、前記材料を前記放射に露出し、パターンを形成する工程及び前記パターンを現像する工程を含む基体の作製プロセスにおいて、前記材料は、式〔R<SB>X </SB>SiHy〕<SB>n</SB>で表わされる組成を含み、0.2<x<1.5,0.2<y<1.5で、Rは有機置換基で、前記材料は不溶であり、前記現像される像はポジであることを特徴とするプロセス。

IPC (5)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/26 ,  H01L 21/027