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J-GLOBAL ID：200903055662263600

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

Inventor： 小林 嘉仁
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996050218
Publication number (International publication number)：1997244229
Application date： Mar. 07, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】分光スペクトルで感度が測定可能な感光性組成物、形成条件を設定可能で微細なパターン形成方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の感光性組成物は、化学放射線の照射により酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得る結合を少なくとも一つ有する化合物と、酸により分解し分光スペクトルが変化する化合物とを含有している。また、前記酸により分解し分光スペクトルが変化する化合物は、次の化学式(1)で表されている。【化1】

Claim (excerpt)：

化学放射線の照射により酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得る結合を少なくとも一つ有する化合物と、酸により分解し分光スペクトルが変化する化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R