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J-GLOBAL ID：200903055685551416

磁気ヘッド用バー状体の研磨装置および研磨方法

Inventor： 綿貫 基一 ,  松下 直久
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999315674
Publication number (International publication number)：2001134902
Application date： Nov. 05, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】 高い精度の研磨が可能となる磁気ヘッド用バー状体の研磨装置を提供する。【解決手段】 磁気ヘッド素子部22aとELG素子部22bとが形成されたバー状体22を、ELG素子部22bのセンス部の抵抗値をモニターしながら研磨し、磁気ヘッド素子部2aのストリップハイトを調整する磁気ヘッド用バー状体の研磨装置において、バー状体22を研磨面となる第1の面を下方に向けて保持可能な保持手段20と、該保持手段20に保持されたバー状体22の研磨面とは反対側の第2の面を直接もしくはフレキシブルなフイルム36を介して押圧してバー状体22の第1の面をラップ定盤32に押圧するアクチュエータ30とを具備することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

磁気ヘッド素子部とELG素子部とが形成されたバー状体を、ELG素子部のセンス部の抵抗値をモニターしながら研磨し、磁気ヘッド素子部のストリップハイトを調整する磁気ヘッド用バー状体の研磨装置において、前記バー状体を研磨面となる第1の面を下方に向けて保持可能な保持手段と、該保持手段に保持されたバー状体の前記第1の面と反対側の第2の面を直接もしくはフレキシブルなフイルムを介して押圧してバー状体の前記第1の面をラップ定盤に押圧するアクチュエータとを具備することを特徴とする磁気ヘッド用バー状体の研磨装置。

IPC (3)：

G11B 5/127 ,  G11B 5/187 ,  G11B 5/31

FI (3)：

G11B 5/127 Q ,  G11B 5/187 Q ,  G11B 5/31 N

F-Term (16)：

5D033AA02 ,  5D033DA12 ,  5D033DA31 ,  5D093AA03 ,  5D093AA04 ,  5D093AB03 ,  5D093AC04 ,  5D093AD05 ,  5D093BD01 ,  5D093FA23 ,  5D093FA26 ,  5D093FA27 ,  5D093HA20 ,  5D111AA01 ,  5D111JJ22 ,  5D111KK20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公平5-044085
  
• 特公平5-044085
  
• 特公平6-019814