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J-GLOBAL ID：200903055686037473
ガリウム化合物の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997342662
Publication number (International publication number)：1999172424
Application date： Dec. 12, 1997
Publication date： Jun. 29, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ターゲットにガリウムを使用し、スパッタ法でガリウム化合物膜、特に窒化ガリウム膜を製造することができる方法を提供すること。【解決手段】 29°C以下に冷却したガリウムをターゲットに用いることを特徴とするスパッタ法によるガリウム化合物の製造方法。
Claim (excerpt)：
29°C以下に冷却したガリウムをターゲットに用いることを特徴とするスパッタ法によるガリウム化合物の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 14/34 A
, C23C 14/58 Z
