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J-GLOBAL ID：200903055711154820

ダイヤモンド膜紫外線センサ

Inventor： 林 和志 ,  横田 嘉宏 ,  橘 武史 ,  高松 弘行 ,  井上 憲一
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002241847
Publication number (International publication number)：2004077433
Application date： Aug. 22, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：

【課題】センサ出力を高精度に補正し、紫外光領域の光を長期間に亘って安定して検出し、測定できるダイヤモンド膜紫外線センサを提供する。【解決手段】基板1上に多結晶ダイヤモンド層2が形成されており、この多結晶ダイヤモンド層2上には、外部電界印加用の第1電極3及び第2電極4と、キャリア捕獲用の第3電極5とが形成されている。そして、第1電極3と第2電極4との間に電圧を印加して、紫外線検出層としての多結晶ダイヤモンド層2に外部電界を印加し、第3電極5に第1電極3と第2電極4との間の中間の電位、例えば接地電位を与える。これにより、第3電極5がキャリアを捕獲するため、結晶粒界に存在する捕獲準位でのキャリアの捕獲は防止される。よって、捕獲準位に捕らえられたキャリアが原因となるセンサ出力応答遅延等の出力の不安定を防止することができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板と、この基板上に形成された多結晶ダイヤモンドからなる紫外線検知層と、この紫外線検知層に接するように形成された少なくとも1組の第1乃至第3の電極と、を有し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加して発生した光電流により紫外線を検知するものであり、前記第3電極は前記第1電極と前記第2電極との間に配置され、前記第3電極には前記第1電極と前記第2電極との中間の電位が印加されていることを特徴とするダイヤモンド膜紫外線センサ。

IPC (2)：

G01J1/02 ,  H01L31/0248

FI (2)：

G01J1/02 G ,  H01L31/08 F

F-Term (21)：

2G065AB05 ,  2G065BA02 ,  2G065CA08 ,  2G065CA23 ,  2G065CA25 ,  2G065DA20 ,  5F088AA11 ,  5F088AB03 ,  5F088BA02 ,  5F088BA04 ,  5F088CB01 ,  5F088CB08 ,  5F088CB15 ,  5F088CB18 ,  5F088CB20 ,  5F088DA05 ,  5F088FA05 ,  5F088FA09 ,  5F088FA14 ,  5F088GA04 ,  5F088LA05