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J-GLOBAL ID：200903055718868313

マイクロレンズアレイの製造方法

Inventor： 岡村 浩司 ,  塚本 誠
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 松本 昂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991337166
Publication number (International publication number)：1993164904
Application date： Dec. 19, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明はマイクロレンズアレイの製造方法に関し、レンズの品質ばらつきを小さくすること及び製造の容易化を目的とする。【構成】透明基板12上にこれよりも低融点のレンズ母層26を形成するステップと、レンズ母層26をエッチングにより部分的に除去してレンズ要素30を形成するステップと、レンズ要素30を加熱して溶融させるステップと、これを冷却するステップとから構成する。

Claim (excerpt)：

透明基板(12)上に該透明基板の融点よりも低い融点を有するレンズ母層(26)を形成する第1のステップと、該レンズ母層のレンズとなるべき部分を除き該レンズ母層をエッチングにより除去してレンズ要素(30)を形成する第2のステップと、該レンズ要素を上記レンズ母層の融点よりも高く且つ上記透明基板の融点よりも低い温度に加熱して、上記レンズ要素(30)を溶融させる第3のステップと、上記透明基板(12)及び溶融した上記レンズ要素 (30′) を冷却する第4のステップとを含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。