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J-GLOBAL ID：200903055732614685

載置台構造及びそれを用いた処理装置

Inventor： 石井 信雄
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996038927
Publication number (International publication number)：1997213781
Application date： Feb. 01, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高温処理時における耐熱性や電気的絶縁性を確保することができる載置台構造を提供する。【解決手段】 内部に静電チャック14と加熱用ヒータ部16をその上部より順次埋め込んで形成され、上端載置面に被処理体Wを載置する載置台本体6と、この載置台本体を冷却する冷却ジャケット部よりなる載置台構造において、前記載置台本体は、熱伝導性の大きな第1の無機非金属材料焼結体40とこの第1の無機非金属材料焼結体の下方に位置されてこれより熱伝導性が小さい第2の無機非金属材料焼結体42よりなり、前記第1と第2の無機非金属材料焼結体の境界部分は所定の厚さを有して両者の成分比が次第に推移して傾斜化し、一体成形する。これにより、被処理体と加熱用ヒータ部間の電気的絶縁性を高く維持し、且つ冷却ジャケット部への熱的負担を軽減する。

Claim (excerpt)：

内部に静電チャックと加熱用ヒータ部をその上部より順次埋め込んで形成され、上端載置面に被処理体を載置する載置台本体と、この載置台本体を冷却する冷却ジャケット部よりなる載置台構造において、前記載置台本体は、熱伝導性の大きな第1の無機非金属材料焼結体とこの第1の無機非金属材料焼結体の下方に位置されてこれより熱伝導性が小さい第2の無機非金属材料焼結体よりなり、前記第1と第2の無機非金属材料焼結体の境界部分は所定の厚さを有して両者の成分比が次第に推移して傾斜化し、一体成形されていることを特徴とする載置台構造。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B