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J-GLOBAL ID：200903055739573062
基板冷却装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993047528
Publication number (International publication number)：1994244095
Application date： Feb. 12, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高温処理された基板を目標温度に高速で冷却するとともに、その冷却後における面内温度分布の均一性を向上する。【構成】 基板Wを載置して冷却する冷却プレート6を設けた処理室5内の天井側に副冷却プレート18を設け、この副冷却プレート18により、冷却プレート6上に載置された基板Wの上方となる処理室5内の雰囲気温度を、冷却プレート6で基板Wを冷却しようとする目標温度に冷却する。
Claim (excerpt)：
処理室内に、冷却手段を備えた冷却プレートを内設し、前記冷却プレートに支持させた基板を冷却するようにした基板冷却装置において、前記処理室内の、前記冷却プレートに支持された前記基板の上方となる箇所に、前記冷却プレートで冷却しようとする目標温度に冷却する副冷却手段を備えた副冷却器を設けてあることを特徴とする基板冷却装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, H01L 21/324
, H01L 21/68
H01L 21/30 361 F
, H01L 21/30 361 K
, H01L 21/30 361 P
