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J-GLOBAL ID：200903055765293027

電気機械変換器とその製造方法

Inventor： 滝澤 亨
Applicant, Patent owner： シチズン時計株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003426011
Publication number (International publication number)：2005181232
Application date： Dec. 24, 2003
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：

【課題】ピエゾ抵抗素子などの電気機械変換器を用いたセンサーにおいて、ピエゾ抵抗素子の感度が低いという課題があった。【解決手段】 固定部と可動部と梁部とを含んだ可動子片において、この可動子片の梁部10の一表面に凹部12を設け、この凹部12内と梁部10の表面側にピエゾ抵抗素子14を形成する。このピエゾ抵抗素子14は、凹部12内の内壁と梁部10の表面側上部の一部に渡り一様に形成する。このピエゾ抵抗素子14と、拡散配線24と、第1のシリコン窒化膜26と、第2のシリコン窒化膜30と、金属配線28とで電気機械変換器を用いたセンサーを構成することができる。ピエゾ抵抗素子14は、梁部10の一部を選択的にエッチングして凹部を形成し、その凹部内に応力が大きくかかる領域を形成し、この凹部内と梁部の表面側にかけて一様に連続して形成されている。【選択図】図1(B)

Claim (excerpt)：

一端を固定部に支持され他端が自由端となる機械的に可動な可動子片に機械的変動を電気的変動に変換する素子を有する片持ち梁形状の電気機械変換器において、前記可動子片に凹部を設け、前記素子を少なくとも前記凹部の内壁と前記凹部の底部とに設けることを特徴とする電気機械変換器。

IPC (3)：

G01L1/18 ,  G01P15/12 ,  H01L29/84

FI (3)：

G01L1/18 A ,  G01P15/12 D ,  H01L29/84 A

F-Term (18)：

4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA27 ,  4M112CA29 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA09 ,  4M112DA10 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20