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J-GLOBAL ID：200903055789034812

X線レーザ用ターゲット

Inventor： 東 博純 ,  佐田 登志夫 ,  原 民夫 ,  山口 直洋 ,  坂田 篤 ,  西村 靖彦
Applicant, Patent owner： 株式会社トヨタマックス ,  学校法人トヨタ学園 ,  株式会社豊田中央研究所 ,  科学技術振興事業団 ,  トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社デンソー ,  株式会社リコー
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996351040
Publication number (International publication number)：1998186099
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 長寿命のX線レーザ用ターゲットを提供する。【解決手段】 真空室内で巻き取り可能なテープ状X線レーザ用ターゲット4は、レーザ光を透過する高分子膜からなる基板10と、前記基板にコーティングまたはラミネートされた金属膜9とからなる。レーザ光が線集光により金属膜に繰り返しターゲットに照射されても、破断したり変形したりすることはない。また、レーザビーム集光部11でのターゲットの溶損をレーザ光の透過により低減することができる。さらに、レーザビームをテープの幅方向に線集光してもテープが切断したり姿勢が変化したりすることなく、数百から数万回のレーザ照射に対しても装置の真空をリークすることなく、長時間の連続した使用を可能にする。

Claim (excerpt)：

レーザ光が入射されるレーザ光入射窓とレーザ光により発生した軟X線を放射する軟X線放射窓を有する真空室内のレーザ光の照射位置にテープ供給手段により連続的に供給されるテープ状のX線レーザ用ターゲットであって、レーザ光を透過する高分子膜からなる基板と、前記基板にコーティングまたはラミネートされた金属膜とからなることを特徴とするX線レーザ用ターゲット。

IPC (2)：

G21K 5/02 ,  H01S 4/00

FI (2)：

G21K 5/02 X ,  H01S 4/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• レーザープラズマX線源用標的
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315446   Applicant：株式会社ニコン
• レーザプラズマ光源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-302085   Applicant：オリンパス光学工業株式会社