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J-GLOBAL ID：200903055810374726
インクジェットヘッドとその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柏谷 昭司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993067268
Publication number (International publication number)：1994278279
Application date： Mar. 26, 1993
Publication date： Oct. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとその製造方法に関し、フィルタを流路板内に構成することによりヘッドの小型化,部品点数の削減を可能にしたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【構成】 インクジェットヘッド21は、圧力室24とインク供給路25とを少なくとも備えた第1の基板22と、該第1の基板22に重ね合わされた第2の基板23とより成る。いずれか一方の基板には圧力室24に連絡するノズル28が形成されている。インク供給路25には、ノズル28より小さい断面積の流路より成るフィルタ27が設けられている。また、第1の基板をシリコンウエハで形成し、これを片面から異方性エッチングすることによって、インク供給路,フィルタ,圧力室,ノズルを同時に形成することができる。
Claim (excerpt)：
圧力室と供給されるインクを前記圧力室へ導くインク供給路とを少なくとも備えた第1の基板と、該第1の基板に重ね合わされた第2の基板とより成り、前記第1の基板または前記第2の基板のいずれか一方の基板に前記圧力室に連絡するノズルが形成されるとともに、他方の基板の表面に前記圧力室に対向する圧電素子が固定されたインクジェットヘッドにおいて、前記第1の基板の前記インク供給路に、前記ノズルより小さい断面積の流路より成るフィルタを設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
Cited by examiner (9)
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