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J-GLOBAL ID：200903055829738087
薄膜トランジスタおよび液晶表示装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995133690
Publication number (International publication number)：1996330592
Application date： May. 31, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】薄膜トランジスタの作成時に、ソース,ドレイン配線がゲート配線層またはn-a-Si/a-Si膜段差部で断線するのを防ぐ。【構成】ソース,ドレイン配線と交差するゲート配線層及びn-a-Si/a-Si膜のパターンに凹凸を設ける。これにより、ソース,ドレイン配線となる金属膜の段差部での膜質を良くするとともに、エッチング液のしみ込みを防ぎ、断線不良を防ぐ。
Claim (excerpt)：
透明絶縁基板上に形成され、ゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、及びソース(ドレイン)電極を有する薄膜トランジスタにおいて、前記ソース(ドレイン)電極下に位置する前記ゲート電極及び前記半導体層の両方の端部に凹凸が形成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。
IPC (2)：
H01L 29/786
, G02F 1/136 500
H01L 29/78 617 K
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 618 C
