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J-GLOBAL ID：200903055854334403

ターゲット装置及びX線レーザ装置

Inventor： 北原 正 ,  藤田 勝吉 ,  佐々部 順
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994159798
Publication number (International publication number)：1996031355
Application date： Jul. 12, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 供給される電気エネルギをX線に変換させる効率を向上させる。【構成】 X線レーザ装置は、真空容器31内に、ターゲットベース38、アノード34及びカソード35からなるターゲット装置Tを配して構成する。ターゲット装置Tのターゲット39に対して、レーザ光源43からレーザ光を照射しガス状プラズマを一様に分布させ、アノード34-カソード35間に放電電圧を印加すると放電プラズマが発生し、ZピンチされてX線が発生する。このX線は、カソード35のトンネル36を通り、X線反射ミラー37で反射されてアノード34側に戻るため、放出されるX線の利得が向上し、レーザ発振を生じる。発振したX線は出射窓41を介して真空容器31の外部に取り出される。

Claim (excerpt)：

レーザ光を受けてガス状プラズマを発生するターゲットを、レーザ光が照射される照射面に備えた絶縁性のターゲット基板と、前記ターゲットを間に配して相対するように前記ターゲット基板に固定され、この間に所定の電圧が印加された際、前記ガス状プラズマの介在のもとで放電を行い、放電プラズマを発生させる一対の電極体とを備え、前記ターゲット基板における前記照射面の裏面側には、この一対の電極体の配設方向に沿って延び、所定の電位が与えれた制御導体を配設しており、前記一対の電極体のうち、一方の第1電極体は、この一対の電極体間に発生するX線を外部に導くための第1貫通孔を有することを特徴とするターゲット装置。

IPC (2)：

H01J 35/22 ,  H01S 3/30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特公昭53-029078
  
• 特開昭63-304597
  
• 特開昭63-304596