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J-GLOBAL ID：200903055855555225

面発光レーザ素子およびその作製方法および面発光レーザアレイおよび波長多重伝送システム

Inventor：
伊藤 彰浩

About 伊藤 彰浩


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001090154
Publication number (International publication number)：2002289969
Application date： Mar. 27, 2001
Publication date： Oct. 04, 2002
Summary：
【要約】【課題】 単一モードの発振光を得やすく、低いしきい値電流で発振し、活性層の歪みによる波長シフトと素子の劣化を低減させることの可能な面発光レーザ素子を提供する。【解決手段】 この面発光レーザ素子は、駆動基体と、面発光レーザ下部基体とを有し、駆動基体は、第1のミラー層1と、第1のミラー層1が配置されているたわみ膜2と、たわみ膜2の第1のミラー層1とは反対の側に第1の空隙3を介して配置されている支持基板4と、たわみ量を制御するために、たわみ膜2と支持基板4とに設けられている一対の変位制御電極5a,5bとを有している。
Claim (excerpt)：
駆動基体と、面発光レーザ下部基体とを有し、駆動基体は、第1のミラー層と、第1のミラー層が配置されているたわみ膜と、たわみ膜の第1のミラー層とは反対の側に第1の空隙を介して配置されている支持基板と、たわみ量を制御するためにたわみ膜と支持基板とに設けられている一対の変位制御電極とを有し、また、面発光レーザ下部基体は、半導体基板上に、半導体多層膜反射鏡からなる第2のミラー層と、第1のスペーサ層と、活性層と、第2のスペーサ層と、電流注入層とが積層されて、積層構造として形成されており、面発光レーザ下部基体と駆動基体とは、面発光レーザ下部基体の積層構造の表面と前記第1のミラー層の表面とが第2の空隙を有するように対向して配置されていることを特徴とする面発光レーザ素子。
IPC (3)：
H01S 5/183 ,  G02B 26/06 ,  H01S 5/42
FI (3)：
H01S 5/183 ,  G02B 26/06 ,  H01S 5/42
F-Term (20)：
2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  5F073AA65 ,  5F073AB06 ,  5F073AB17 ,  5F073AB25 ,  5F073AB26 ,  5F073AB28 ,  5F073BA01 ,  5F073CA07 ,  5F073CA17 ,  5F073CB02 ,  5F073DA23 ,  5F073EA03 ,  5F073EA04 ,  5F073EA28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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