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J-GLOBAL ID：200903055867788527

超微粒子の生成方法

Inventor： 宮本 勇
Applicant, Patent owner： 宮本 勇 ,  松下電工株式会社
Agent (1)： 松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994250822
Publication number (International publication number)：1996112527
Application date： Oct. 17, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 レーザ照射で生成させた超微粒子をターゲットに効率よく集める。【構成】 減圧雰囲気下でターゲット材1の表面ににエキシマレーザを照射することにより、粒子がターゲット材1から分解もしくは蒸発し粒子の爆発波3を生じさせ、この爆発波3の冷却によりデブリー(超微粒子)6をターゲット材1上に回収する。

Claim (excerpt)：

減圧雰囲気下でターゲット材の表面に短パルスレーザを照射することにより、粒子が前記ターゲット材から分解もしくは蒸発し粒子の爆発波を生じさせ、この爆発波の冷却により超微粒子をターゲット材上に回収する超微粒子の生成方法。

IPC (2)：

B01J 19/12 ,  C01B 33/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 超微粒子分散材料の作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-261603   Applicant：日本板硝子株式会社
• 特開平4-037608