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J-GLOBAL ID：200903055932266827
ポジ型感光性組成物
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997119772
Publication number (International publication number)：1998307397
Application date： May. 09, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：
【要約】【課題】250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度及びレジストパターンを与え、更に十分な耐ドライエッチング性を示すポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物及び(B)(イ)多環型の脂環式基、(ロ)酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させるエステル基及び(ハ)酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させるアセタ-ル基をそれぞれ少なくとも1つ有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)(イ)多環型の脂環式基、(ロ)下記一般式(I)で表される酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基及び(ハ)下記一般式(II)で表される酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基をそれぞれ少なくとも1つ有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】一般式(I)及び(II) において、R1 〜R5 は同じでも異なっていてもよく、水素原子、又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アシル基、もしくはアルコキシカルボニル基を表し、R6 は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基を表す。ただし、式(I)のR1 〜R3 の内の2つ、又は式(II)のR4 〜R6 の内の2つが結合して3〜8個の炭素原子又はヘテロ環原子からなる環構造を形成してもよい。
IPC (7)：
G03F 7/039 601
, C08F 20/10
, C08F 20/52
, C08L 33/14
, C08L 35/00
, C08L 57/00
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F 20/10
, C08F 20/52
, C08L 33/14
, C08L 35/00
, C08L 57/00
, H01L 21/30 502 R
