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J-GLOBAL ID：200903055940627359

液浸走査型プローブ顕微鏡装置

Inventor： 福島 徳近
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995277924
Publication number (International publication number)：1997119939
Application date： Oct. 25, 1995
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】溶液中に浸る部材の表面に対する気泡の付着が少ない液浸走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】探針20とカンチレバー22と窓部材30の全体とカンチレバー保持部材24の一部を溶液16に沈める。その後、マイクロディスペンサー32により溶液16の液面上に界面活性剤を供給する(A)。次に、カンチレバー22と探針20が液面上の界面活性剤に触れない高さまでヘッド36を上昇させる(B)。これによりカンチレバー保持部材24と窓部材30には界面活性剤が付着する。続いて、カンチレバー保持部材24を再び溶液中に沈める(C)。このとき、カンチレバー保持部材24と窓部材30に付着した界面活性剤は液面上の界面活性剤と良くなじむため、これらの表面に気泡は生じない。最後に、回収手段34を用いて液面上に残る界面活性剤を吸引する(D)。

Claim (excerpt)：

容器に入れた溶液中に配置された試料を探針を用いて観察する液浸走査型プローブ顕微鏡において、親水化処理された、先端に探針を備えたカンチレバーと、カンチレバーを保持するカンチレバー保持部材と、カンチレバーおよびカンチレバー保持部材を溶液中に浸入待避させる手段と、溶液の液面上に界面活性剤を供給する手段とを備えており、試料の観察に先立ち、カンチレバーの全体とカンチレバー保持部材を溶液中に沈め、溶液の液面上に界面活性剤を供給して液面上に界面活性剤の薄膜を形成し、カンチレバーが界面活性剤に触れない範囲でカンチレバー保持部材をなるべく引き上げ、再びカンチレバー保持部材を下げることを特徴とする液浸走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z