搬送装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998290647
Publication number (International publication number)：2000124284
Application date： Oct. 13, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】工程間搬送装置と工程内搬送装置とを天井走行式とし、搬送物の搬送及び受け渡しを円滑かつ安全に行うことができるとともに、設備コストを低廉化できるようにした搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送台車12を工程間天井走行用レール11に沿って走行させるようにした工程間搬送装置1と、搭載した搬送物Wを昇降させるリフタ25を配設した搬送台車を複数のベイを結ぶ工程内天井走行用レールに沿って走行させるようにした工程内搬送装置とを、両天井走行用レールに段差を設けて交差するように配置するとともに、交差部近傍位置にストッカを配置し、該ストッカを工程間搬送装置と工程内搬送装置とで共用するようにする。

Claim (excerpt)：

搬送台車を工程間天井走行用レールに沿って走行させるようにした工程間搬送装置と、搭載した搬送物を昇降させるリフタを配設した搬送台車を複数のベイを結ぶ工程内天井走行用レールに沿って走行させるようにした工程内搬送装置とを、両天井走行用レールに段差を設けて交差するように配置するとともに、交差部近傍位置にストッカを配置し、該ストッカを工程間搬送装置と工程内搬送装置とで共用するようにしたことを特徴とする搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 Z

F-Term (9)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031FA03 , 5F031FA15 , 5F031GA44 , 5F031GA48 , 5F031GA58 , 5F031GA59

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ストッカへの搬送システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-163698 Applicant：神鋼電機株式会社
特開昭64-069204
基板処理システムおよび基板処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-063360 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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