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J-GLOBAL ID：200903055961419829
光画像計測装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994237950
Publication number (International publication number)：1996110296
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 この発明の目的は、光が多重散乱する比較的厚い測定物を透過した光あるいは測定物内から反射された光を高い空間分解能で検出することができ、しかも、測定物に対して光ビームを走査することなく、二次元乃至三次元の画像を生成することが可能な光画像計測装置を提供することである。【構成】 ビーム径を拡大したレーザ光はサンプル24に照射される。テレスコープ25はサンプル24を透過した光を集光し、空間フィルタリングし、且つビーム径を拡大する。ビームスプリッタ29はテレスコープ25によって拡大された光に局発光LCB を合成し、二次元の光検出器アレイ36はこの合成された光を二次元空間で分離しヘテロダイン検出のためのIF信号に変換する。信号処理部38、コンピュータ39は光検出器アレイ36から出力された信号を処理し表示器40に表示する。
Claim (excerpt)：
第1のビーム径を有する光を散乱体を含む測定物体に照射する照射手段と、前記測定物体を透過した光を集光するする第1のレンズと、この第1のレンズの焦点に設けられた空間フィルタとしてのアパーチャと、このアパーチャを通った光を前記第1のビーム径より大きな第2のビーム径に拡大する第2のレンズと、この第2のレンズによって拡大された光に参照光を合成する合成手段と、この合成手段によって合成された光を二次元空間で分離し、電気信号に変換する光電変換手段とを具備することを特徴とする光画像計測装置。
Patent cited by the Patent：
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