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J-GLOBAL ID：200903055974166377

生産管理装置

Inventor： 大嶋 健文
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 尾川 秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992034245
Publication number (International publication number)：1993204934
Application date： Jan. 25, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体装置の製造等の管理をする生産管理装置(システム)において、作業条件はレシピの形では入力せず、作業条件の指示はレシピの形で行うことができるようにする。【構成】 各種作業について使用装置をキーワードとして各作業条件に与えられたレシピIDを記憶するレシピID記憶手段を有し、各作業の種類、使用装置、条件についてのデータが入力されると上記レシピID記憶手段からそのデータに対応したレシピIDが読み出され、作業条件が使用装置をキーワードとするレシピIDにより指示されるようにする。

Claim (excerpt)：

一連の多数の作業により行われる生産の各作業の種類、使用装置、条件を、予め入力されたデータに従って指示しないしは制御する生産管理装置において、各種作業について使用装置をキーワードとして各作業条件に与えられたレシピIDを記憶するレシピID記憶手段を少なくとも有し、上記各作業の種類、使用装置、条件についてのデータが入力される上記とレシピID記憶手段からそのデータに対応したレシピIDが読み出され、作業条件が使用装置をキーワードとするレシピIDにより指示ないし制御されるようにしたことを特徴とする生産管理装置

IPC (3)：

G06F 15/21 ,  B23Q 41/08 ,  H01L 21/02