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J-GLOBAL ID：200903055984329100
薄板セラミックスとその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996047588
Publication number (International publication number)：1997239658
Application date： Mar. 05, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 両面ラップ盤が簡単な構造であっても、薄板セラミックスを高精度に作製する。【解決手段】 両面ラップ盤を使用し、研削対象物1の両面を同時に研磨して作製するセラミックスの製造において、研削対象物を保持するキャリヤ2を研削後の最終的な厚さよりも厚くなるように作製し、このキャリアを使用してキャリアおよびセラミックスを同時に所望の厚みまで研削して製造する。研削対象物がキャリアから飛び出すことがなく、厚さ制御も容易となる。
Claim (excerpt)：
両面を同時に研磨して作製されるセラミックスにおいて、研削後の最終的な厚さと同等の厚さとしたキャリアで研削対象物を保持し、この保持状態で所望の厚さまで研削対象物を研削することで作製されていることを特徴とする薄板セラミックス。
FI (2)：
B24B 37/04 D
, B24B 37/04 C
