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J-GLOBAL ID:200903055992779467

焦電センサーおよび光センサー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994057327
Publication number (International publication number):1995270240
Application date: Mar. 28, 1994
Publication date: Oct. 20, 1995
Summary:
【要約】【目的】 強誘電体に分極反転部を形成することにより、高感度の焦電センサーを構成する。【構成】 -Z板のLiTaO3基板1上に形成した分極反転部4と電極3を形成することにより焦電センサーを構成する。焦電センサーの温度が変化すると、焦電効果により、分極反転部4とその他の部分で反対符号の焦電電荷が発生し、電位差が生じる。この電位差を測定することにより温度変化を検出できる。集積化が容易であり、温度変化に対して、大きな電位差が得られるため、高感度の焦電センサーが構成できる。
Claim (excerpt):
焦電体からなる基板と、前記基板表面の少なくとも一部に形成した焦電性の劣化した部分とを備え、前記焦電性の劣化した部分とそれ以外の部分の間の電位差を検知することを特徴とする焦電センサー。
IPC (4):
G01J 5/02 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/12 ,  H01L 37/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 赤外線センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-002436   Applicant:横河電機株式会社
  • 赤外線人体検知器
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-341567   Applicant:松下電工株式会社

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