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J-GLOBAL ID：200903056024157815
動圧軸受の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
河▲崎▼ 眞樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001011530
Publication number (International publication number)：2002213452
Application date： Jan. 19, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：
【要約】【課題】 動圧軸受内への潤滑流体の封入作業の能率化と、潤滑流体封入後の動圧軸受内に空気の混入を確実に防止することのできる動圧軸受の製造方法を提供する。【解決手段】 開閉弁3を介して連通する2つの真空チャンバ1,2を用意し、開閉弁4を閉じた状態で一方の真空チャンバ1に動圧軸受6を配置して脱気するとともに、他方の真空チャンバ2内に潤滑流体8を収容して攪拌脱気する。各チャンバ1,2内の圧力が所要圧にまで脱気された後、開閉弁4を開いて他方の真空チャンバ2内の潤滑流体8を第1の真空チャンバ1内に導き、その潤滑流体8を動圧軸受6内に充填させることで、1つの動圧軸受6を処理するごとに大気に曝す必要のある一方の真空チャンバ1の脱気を、潤滑流体8の不存在下で行うことを可能としてその所要時間を短縮化し、かつ、潤滑流体8を収容する他方の真空チャンバ2については、大気に曝されることがなく、攪拌脱気を行うことと併せて潤滑流体8内の空気を確実に除去することを可能とする。
Claim (excerpt)：
動圧軸受の内部隙間に潤滑流体を充填するに当たり、開閉弁を介して互いに連通する2つの真空チャンバを用い、開閉弁を閉じた状態で一方のチャンバに動圧軸受を収容して真空脱気するとともに、他方のチャンバに潤滑流体を収容して攪拌脱気した後、開閉弁を開いて上記一方のチャンバ内に潤滑流体を導くことにより、その潤滑流体を上記内部隙間の開口部を通じて動圧軸受内に充填することを特徴とする動圧軸受の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F16C 33/14 Z
, F16C 17/00 A
3J011AA20
, 3J011CA02
, 3J011DA02
, 3J011JA02
