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J-GLOBAL ID：200903056091293081

物理量測定センサ

Inventor： 小塚 直樹
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 柏木 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993064519
Publication number (International publication number)：1994273428
Application date： Mar. 24, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 外的な振動の影響を除去して測定物との間に作用する力を測定することが可能な物理量測定センサを提供する。【構成】 先端部に探針24の形成された梁23とこの梁23の振動量を検知する振動量検出素子25とよりなる振動センサ部22を有し、この振動センサ部22の梁23の振動量の変化により測定物27表面と探針24との間に働く力を直接的又は間接的に検出することにより測定物27の表面状態を測定する物理量測定センサにおいて、振動センサ部22を有し測定物27表面と梁23との間に作用する物理量を計測する少なくとも一つ以上の計測用振動センサ17と、振動センサ部22を有し梁23の周囲に作用する外的な振動を計測する少なくとも一つ以上の補正用振動センサ18とを備え、これら計測用振動センサ17と補正用振動センサ18とを同一基板上に近接して配置した。

Claim (excerpt)：

先端部に探針が形成された梁とこの梁の振動量を検知する振動量検出素子とよりなる振動センサ部を有し、この振動センサ部の前記梁の振動量の変化により測定物表面と前記探針との間に働く力を直接的又は間接的に検出することにより前記測定物の表面状態を測定する物理量測定センサにおいて、前記振動センサ部を有し前記測定物表面と前記梁との間に作用する物理量を計測する少なくとも一つ以上の計測用振動センサと、前記振動センサ部を有し前記梁の周囲に作用する外的な振動を計測する少なくとも一つ以上の補正用振動センサとを備え、これら計測用振動センサと補正用振動センサとを同一基板上に近接して配置したことを特徴とする物理量測定センサ。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01H 11/06