熱分析装置およびその計測方法

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：酒井宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997034077
Publication number (International publication number)：1998260147
Application date： Feb. 18, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】試料の加熱を熱容量の極めて小さなヒータで行うようにすることにより,極めて微量の試料で測定が行えると共に,応答速度が速く,微小電力で高温まで加熱でき,さらに画一的に大量生産できる熱分析装置を提供すること。また,微小電力で高速応答ができる熱分析装置の計測方法を提供すること。【解決手段】試料加熱用の発熱部を基板と一体形成して下部に空洞を有する薄膜ヒータとして形成すると共に,薄膜ヒータまたは薄膜ヒータを支持する薄膜支持部内の薄膜ヒータに近接した領域に,試料を保持する試料保持部3と試料保持部3の温度を検出する温度検出部(5,5A,5B)とを一体形成して設けてある。

Claim (excerpt)：

試料を昇温または降温させる温度走査を行い,前記試料の物理化学的変化に基づく熱的変化を温度または時間の関数として計測する熱分析装置において,試料加熱用の発熱部を基板と一体形成して下部に空洞を有する薄膜ヒータとして形成すると共に,前記薄膜ヒータまたは前記薄膜ヒータを支持する薄膜支持部内の前記薄膜ヒータに近接した領域に,前記試料を保持する試料保持部と前記試料保持部の温度を検出する温度検出部とを一体形成して設けたことを特徴とする熱分析装置。

IPC (5)：

G01N 25/00 , G01N 5/04 , G01N 25/20 , G01N 27/72 , G01R 33/12

FI (6)：

G01N 25/00 K , G01N 5/04 C , G01N 25/20 A , G01N 25/20 F , G01N 27/72 , G01R 33/12 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

熱分析用素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-182051 Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (1)

熱分析用素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-182051 Applicant：株式会社ニコン

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