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J-GLOBAL ID：200903056151439102

光導波路モジュール

Inventor： 高橋 龍太
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996350616
Publication number (International publication number)：1998186169
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 光導波路と光素子との光結合が低損失になる光導波路モジュールを提供する。【解決手段】 半導体基板100の上に第1の誘電体層102、導波路コア103及び第2の誘電体層104を順に重ね、この積層中に光素子108を収容するための凹部109を掘り込んだ光導波路モジュールにおいて、上記凹部109の深さの中央位置に上記導波路コア103が位置している。このため角度ずれによる結合損失増加を抑えることができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板の上に第1の誘電体層、導波路コア及び第2の誘電体層を順に重ね、この積層中に光素子を収容するための凹部を掘り込んだ光導波路モジュールにおいて、上記凹部の深さの中央位置に上記導波路コアが位置していることを特徴とする光導波路モジュール。

IPC (3)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/12 ,  H01L 31/0232

FI (3)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/12 N ,  H01L 31/02 D