Pat
J-GLOBAL ID：200903056156054187
感光性組成物
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奥山 尚男 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992147345
Publication number (International publication number)：1993341525
Application date： Jun. 08, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は、有機溶剤を含まない水性アルカリ溶液によって現像することができ、しかも、現像能力と支持体との密着性に優れた感光性組成物を提供することにある。【構成】 本発明の要旨は、放射線照射により酸を発生する化合物とアルカリ可溶性共重合体を含む感光性組成物において、上記アルカリ可溶性共重合体として、p-イソプロペニルフェノール10〜40重量%、グリシジルメタクリレート50〜80重量%、ならびにアクリル酸および/またはメタクリル酸0〜10重量%からなる共重合体を用いたことを特徴とする感光性組成物にある。
Claim (excerpt)：
放射線照射により酸を発生する化合物とアルカリ可溶性共重合体を含む感光性組成物において、上記アルカリ可溶性共重合体として、p-イソプロペニルフェノール10〜40重量%、グリシジルメタクリレート50〜80重量%、ならびにアクリル酸および/またはメタクリル酸0〜10重量%からなる共重合体を用いたことを特徴とする感光性組成物。
IPC (5)：
G03F 7/038 503
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, H01L 21/027
Cited by examiner (5)
Show all
Return to Previous Page
