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J-GLOBAL ID：200903056161228479

軟磁性薄膜、及びそれを用いた磁気ヘッド,磁気記録装置

Inventor： 桐野 文良 ,  大友 茂一 ,  森脇 英稔 ,  小礒 良嗣
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994026476
Publication number (International publication number)：1995235421
Application date： Feb. 24, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】高飽和磁束密度を維持しつつ耐食性を向上させたFeを含む磁性膜およびそれを用いた磁気記録装置を提供する。【構成】磁性元素としてFe,Ta,Cを含む合金膜を成膜し、熱処理を行うことにより微結晶析出反応を生じさせて軟磁気特性を発現させる場合に、合金中に磁性元素以外の元素を添加することにより析出する微結晶がX線的にα-Feのみとなるように軟磁性薄膜の結晶構造を制御する。【効果】析出してくるTaCの結晶粒径を微細化し、形成されるα-Feの結晶粒径を制御し、磁性膜の軟磁気特性及び耐食性を向上させる。

Claim (excerpt)：

Fe,Ta,Cを含む合金において、成膜した後に加熱処理を行うことにより微結晶析出反応を生じさせて軟磁気特性を発現させる場合に、合金中に磁性元素以外の元素を添加することにより析出する微結晶がX線回折的にα-Feのみとなるように軟磁性薄膜の結晶構造を制御したことを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (6)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C22C 38/26 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/23