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J-GLOBAL ID：200903056173250453

研磨装置

Inventor： 内山 久仁男 ,  高橋 陽介 ,  宇田 豊 ,  星野 進 ,  山本 栄一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコンエンジニアリング ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 大西 正悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001251871
Publication number (International publication number)：2002200553
Application date： Aug. 22, 2001
Publication date： Jul. 16, 2002
Summary：

【要約】【課題】 基板の研磨中、研磨面が基板の外縁からはみ出し、或いは基板表面が研磨部材の外縁からはみ出してしまった場合であっても基板表面と研磨面との接触部分における接触圧が過大にならないようにする。【解決手段】 パッドプレート42全体を、下面側がN極、上面側がS極となるように上下方向に分極された磁石(永久磁石)から構成し、回転テーブル5の外周部であって、研磨部材40の水平方向の揺動(後述)により基板6の外縁からはみ出す研磨面(研磨パッド43の下面)と対向する位置に、このはみ出した研磨面と接触しない所定間隔をおいて磁石12を設置する。この磁石12は、パッドプレート42を上方(研磨面が基板表面に押し付けられる方向とは反対の方向)に付勢する磁力(斥力)が作用するよう、上面側がN極、下面側がS極となるように設置する。

Claim (excerpt)：

研磨対象たる基板を保持する保持部と、前記基板の表面と対向する研磨面を有する研磨部材とを備え、前記基板表面と前記研磨面とを接触させた状態で相対移動させることにより前記基板表面の研磨を行う研磨装置において、前記研磨面と接触しないように前記研磨面が形成する面と所定間隔を保つように構成され、前記相対移動により前記研磨面が前記基板の外縁からはみ出したときに、前記研磨面のはみ出した部分を、前記基板表面への接触圧方向と反対の方向に付勢する外力を与える外力付与手段を更に備えたことを特徴とする研磨装置。

IPC (3)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (3)：

B24B 37/00 B ,  B24B 37/04 G ,  H01L 21/304 622 K

F-Term (9)：

3C058AA07 ,  3C058AA11 ,  3C058AA12 ,  3C058AA16 ,  3C058BA05 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17