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J-GLOBAL ID：200903056198161560
感光性樹脂組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001250535
Publication number (International publication number)：2003057826
Application date： Aug. 21, 2001
Publication date： Feb. 28, 2003
Summary：
【要約】【課題】 160nm以下、具体的にはF2エキシマレーザー光(157nm)の光源使用時に十分な透過性を示し、且つラインエッジラフネス、現像時間依存性が小さく優れた感光性樹脂組成物を提供することである。【解決手段】 特定の構造を有する酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、活性光線または放射線の照射により、一般式A1Hで表される酸を発生する化合物、一般式B+A2-で表されるイオン性化合物、溶剤、及び界面活性剤を含有する感光性樹脂組成物であり、活性光線または放射線の照射により発生する酸A1Hとイオン性化合物B+A2-がA1H + B+A2- → B+A1- + A2Hで表される塩交換反応を行うことを特徴とする感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(I)、(II)及び(VI)で示される繰り返し単位を各々少なくとも一つ有する、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、(B1)活性光線または放射線の照射により、一般式A1Hで表される酸を発生する化合物、(B2)一般式B+A2-で表されるイオン性化合物、(C)溶剤、及び(D)界面活性剤を含有する感光性樹脂組成物であり、活性光線または放射線の照射により(B1)成分により発生する酸A1Hとイオン性化合物B+A2-がA1H + B+A2- → B+A1- + A2H(但し、Hは水素原子、A1は酸A1Hから水素原子を除いた残基、B+は当該イオン性化合物のカチオン部、A2-はアニオン部を表す。A1-はA1に由来するアニオン、A2は水素原子イオンとの結合によりイオン性が低下したA2-に由来する基を表す。)で表される塩交換反応を行うことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】一般式(I)、(II)及び(VI)中、R1、R5、R17a及びR17は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。R2、R3、R6及びR7は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ヒドロキシル基又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、アルケニル基、アリール基若しくはアラルキル基を表す。R50〜R55は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。但し、R50〜R55の内、少なくとも1つは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。R4は、下記一般式(IV)又は(V)の基を表す。R18は、-C(R18d)(R18e)(R18f)又は-C(R18d)(R18e)(OR18g)を表す。R18d〜R18gは、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基若しくはアリール基を表す。R18d、R18e、R18fの内の2つ又はR18d、R18e、R18gの内の2つが結合して環を形成してもよい。【化2】一般式(IV)中、R11、R12及びR13は、同じでも異なっていてもよく、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基又はアリール基を表す。一般式(V)中、R14及びR15は、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。R16は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基若しくはアリール基を表す。R14〜R16の内の2つが結合し、環を形成してもよい。
IPC (4)：
G03F 7/039 601
, C08F212/14
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F212/14
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
