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J-GLOBAL ID：200903056204076481

トレパニングヘッド

Inventor： 冨田 良幸 ,  関根 英隆 ,  杉峰 正信
Applicant, Patent owner： 住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993159566
Publication number (International publication number)：1995009178
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Jan. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 集光レンズを平面内で移動することにより、集光点を移動させて、切断あるいは穴あけを行なうトレパニングヘッドに関し、高精度かつ高速に集光レンズを駆動することのできるトレパニングヘッドを提供することを目的とする。【構成】 固定されたベースと、前記ベースに対して相対的に2次元平面内で案内されるステージ部材と、前記ステージ部材に保持されたレンズと、前記ステージ部材を前記ベースに対して2次元方向に駆動することのできる電磁駆動手段であって、ステージ部材とベースとに各々固定された永久磁石とコイルとを含み、永久磁石から発する磁力線がコイルの近接端と交差する電磁駆動手段と、前記ステージ部材の変位を非接触で検出する非接触変位センサとを含む。

Claim (excerpt)：

固定されたベース(2)と、前記ベースに対して相対的に2次元平面内で案内されるステージ部材(4)と、前記ステージ部材に保持されたレンズ(17)と、前記ステージ部材を前記ベースに対して2次元方向に駆動することのできる電磁駆動手段であって、ステージ部材とベースとに各々固定された永久磁石とコイルとを含み、永久磁石から発する磁力線がコイルの近接端と交差する電磁駆動手段(9、10)と、前記ステージ部材の変位を非接触で検出する非接触変位センサ(11、12)とを含むトレパニングヘッド。

IPC (3)：

B23K 26/06 ,  G02B 26/10 105 ,  B23K 26/00 320

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-217188
  
• 特開平3-214114
  
• 特開昭61-279391